SKU 083：半导体 FOUP (晶圆盒) 亚厘米级光电寻址与微震监控底座 (Wafer-Track)
定位:
空间维度的过程控制（Spatial Process Control）—— 采集物理状态，用坐标去校验合规性。
核心标签:
#半导体制造 #无尘室 #晶圆追踪 #光电寻址 #高频震动监测 #OHT协同
业务场景:
芯片晶圆厂 (Fab)。一个装满晶圆的盒子 (FOUP) 价值几十万甚至上百万，它们被存放在几千个密集货架 (Stocker) 上。如果机械手抓错，或者架子有微小震动导致晶圆碎裂，损失惨重。
参考价格:
¥3,200 / 库位
软配置:
MES 库位绝对地址映射引擎 + 震动频谱 FFT 分析
硬配置:
库位级红外光电寻址器（精度<5毫米）+ 底部高频 MEMS 震动传感器 + RFID 读卡阵列
架构师点评:
“在半导体无尘室，GPS 和普通蓝牙毫无用处，我们需要的是**‘槽位级（Slot-level）’的微观定位**。当晶圆盒被天车放下来的那一刻，底座的红外光电瞬间确认它的 XYZ 物理坐标偏差小于 5 毫米，同时 RFID 确认身份，震动传感器全天候监控这块层板有没有共振。这种级别的‘定位+数采’，是整个工厂数百亿产能良率的底线保障，利润极高且门槛极高。”